8.74: Multi-kammer, multifunktionelle og modulære mellemliggende vakuummoduler, serie MI

Mellemliggende moduler er uafhængige multi-kammer og multifunktions vakuumgeneratorer, der skal samles til generatorerne i GVMM-serien.

Deres tykkelse og vægt reduceres til det maksimale sammenlignet med deres flowrate hastighed, og de er designet til at være mellem toppen og bunden af ​​GVMM-vakuumgeneratoren og fastgjort med skruer. De interne forbindelser til trykluftforsyningen muliggør kommunikation mellem dem og basisgeneratoren uden behov for eksterne manifolder.

På denne måde bliver hvert modul en uafhængig vakuumenhed, der kan styre et helt vakuumsystem.